4. L'impact du système de séchage
La température et le temps pendant le processus de séchage ont un impact significatif sur la qualité du produit. Une température trop basse ou un temps trop court peut entraîner une humidité résiduelle dans l'embryon, qui peut être utilisée dans les processus de nitrative ultérieurs
La réaction d'oxydation de la poudre de silicium est induite pendant le processus de réaction, réduisant ainsi l'efficacité de la réaction de nitrative et affectant la qualité du produit. La vitesse de l'élévation de la température peut également avoir un impact sur la qualité du produit. L'augmentation rapide de la température n'est pas propice au contrôle de l'environnement à haute température, car des températures excessivement élevées peuvent provoquer des fissures à la surface de l'embryon.
5. L'influence de la méthode d'installation du four
Les facteurs qui peuvent affecter la qualité du four avant le processus de nitrade sont l'espacement des écarts entre les embryons. Il devrait y avoir un certain espace entre les embryons pour fournir des conditions favorables pour l'infiltration et le remplissage lisses du gaz d'ammoniac, et pour éviter le phénomène de l'écoulement de silicium causé par une charge de four excessive.
6. L'impact du système de nitrative
Les matières premières denitrure de silicium combiné avec une brique en carbure de siliciumLes s sont mélangés et moulés, puis tirés à une température élevée d'environ 1400 degrés dans une fournaise en nitride. La qualité et les performances du produit final sont étroitement liées à la température de la réaction de nitrative. Pendant la réaction entre la poudre de silicium et l'azote, il y a environ deux stades de température: le stade de chauffage suivi du stade de réaction d'ammonification des matières premières. La température à l'intérieur du dispositif pendant le stade de chauffage augmente de la température initiale à environ 1100 degrés, tandis que la température pendant le stade de réaction de nitrative des matières premières se situe entre 1100 et 1350 degrés
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